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金屬、無(wú)機(jī)材料的微波氮化處理
金屬、無(wú)機(jī)材料的氮化處理裝置往往采用等離子體發(fā)生室和處理室合一的裝置。以金屬的氮化處理為例，使用氮和氫的混合氣體，加入氫的目的就是除去金屬表面的氧化物，使氮化容易進(jìn)行。在離子體中，除了有氮和氫的原子的電離、分子的電離外，同時(shí)存在著活潑的氮原子和氫原子等粒子。這些活潑的原子、離子和金屬表面發(fā)生作用，生成氮化物。典型的處理?xiàng)l件是，氣壓為０．１?。裕铮颍蛞唬薄。裕铮颍?，流量為１０ｍ１／ｍｉｎ１００ｍ１／ｍｉｎ，微波能功率為０．５ｋＷ?。。常耄?，處理時(shí)間為幾十分到幾小時(shí)。
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