SiC/SiC的微波焊接
R.Silberglitt等用單模和多模微波腔體焊接了直徑為0.952cm,高0.635cm的兩塊SiC圓片,微波焊接溫度1450`C,時(shí)間5min一10min, 微波功率250W。所采用的方法有如下幾種:
用Si粉作為2塊SiC圓片的粘接劑,經(jīng)微波焊接后兩塊SiC之間的界面層厚度為50um.
把Si粉與油混合形成稀漿涂在SiC圓片上,再用微波進(jìn)行焊接,焊接界面層厚度為10um.
用等離子體技術(shù)噴涂一層Si在其中一塊SiC圓片上,然后把另一塊SiC圓片放置在噴涂有Si層的SiC圓片上,用微波進(jìn)行焊接,焊接后界面層的厚度不超過5um.
用20碳烯作為粘結(jié)劑,把一定比例的Si,?。煤停裕榉劾鋲撼筛呒slmm的圓片,把該圓片放入2塊SiC圓片之中,用微波進(jìn)行焊接,發(fā)現(xiàn)界面層中出現(xiàn)了Tic、TiO2、Ti3O5和SiC等物質(zhì)。
上述的幾種方法中,焊接后接頭的努氏硬度值沒有較大的變化。
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